流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
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国家 标准 |
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GB/T 40566-2021 |
现行 |
| 国际标准分类号（ICS） 29.045 中国标准分类号（CCS） H82 |
英文标题
Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
