碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
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国家 标准 |
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GB/T 41153-2021 |
现行 |
| 国际标准分类号（ICS） 77.040 中国标准分类号（CCS） H17 |
英文标题
Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
