半导体刻蚀设备气密检测

原创来源：北检院    发布时间：2025-06-20 13:25:06    点击数：

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信息概要

半导体刻蚀设备气密检测是确保设备在运行过程中无气体泄漏的关键环节，直接关系到生产工艺的稳定性和产品良率。该类检测主要通过高精度仪器和方法，对设备的气密性进行全面评估，以防止工艺气体外泄或污染，保障生产安全与效率。气密检测在半导体制造中尤为重要，任何微小的泄漏都可能导致工艺失效、设备损坏或安全隐患，因此定期检测是维护设备性能的必要措施。

检测项目

泄漏率检测, 压力衰减测试, 氦质谱检漏, 真空保持测试, 气体纯度分析, 密封性评估, 流量稳定性测试, 阀门气密性检测, 管道连接点检查, 腔体密封测试, 法兰密封性评估, O型圈完整性检测, 焊缝气密性测试, 气体分配系统检测, 真空泵密封性检查, 气体管路泄漏定位, 静态压力测试, 动态压力测试, 气体渗透率检测, 环境气体浓度监测

检测范围

等离子刻蚀机, 反应离子刻蚀机, 干法刻蚀设备, 湿法刻蚀设备, 深硅刻蚀设备, 金属刻蚀设备, 介质刻蚀设备, 化学气相刻蚀设备, 物理气相刻蚀设备, 离子束刻蚀设备, 激光刻蚀设备, 电子束刻蚀设备, 原子层刻蚀设备, 各向同性刻蚀设备, 各向异性刻蚀设备, 批量刻蚀设备, 单片刻蚀设备, 集群刻蚀系统, 在线刻蚀设备, 离线刻蚀设备

检测方法

压力衰减法：通过监测系统压力变化判断泄漏情况。

氦质谱检漏法：利用氦气作为示踪气体，通过质谱仪检测泄漏点。

气泡测试法：在加压条件下观察液体中气泡形成以定位泄漏。

真空检漏法：在真空环境下检测气体流入速率。

流量计测试法：通过测量气体流量变化评估泄漏程度。

红外热成像法：利用红外相机检测温度异常以定位泄漏。

超声波检测法：通过捕捉泄漏产生的超声波信号确定泄漏位置。

气体嗅探法：使用气体检测仪对可疑区域进行扫描。

质谱仪分析法：对系统内气体成分进行定量分析。

静态升压法：在封闭系统中监测压力随时间的变化。

动态流量法：在气体流动状态下检测泄漏率。

示踪气体法：注入特定气体并通过传感器检测其浓度。

密封性目检法：通过视觉检查密封件的完整性。

氦气累积法：在封闭空间内累积氦气并测量其浓度。

压力波动分析法：通过分析压力波动信号判断泄漏。

检测仪器

氦质谱检漏仪, 压力衰减测试仪, 真空计, 流量计, 气体分析仪, 红外热像仪, 超声波检测仪, 气体嗅探器, 质谱仪, 压力传感器, 泄漏检测仪, 气体浓度监测仪, 真空泵, 压力表, 气体流量控制器

检测流程

1、确认客户委托，寄样。

2、到样之后，确定具体的试验项目以及试验方案。

3、实验室报价。

4、签订保密协议，进行试验。

5、完成试验，确定检测报告

6、后期技术服务

友情提示：暂不接受个人委托测试

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