钼掩模刻蚀液 硝酸/磷酸混酸钼离子价态控制

原创来源：北检院    发布时间：2025-06-25 09:23:12    点击数：

全国服务领域：河北、山西、黑龙江、吉林、辽宁、江苏、浙江、安徽、福建、江西、山东、河南、湖北、湖南、广东、海南、四川、贵州、云南、陕西、甘肃、青海、台湾、内蒙古、广西、西藏、宁夏、新疆、北京、天津、上海、重庆、香港、澳门

信息概要

钼掩模刻蚀液硝酸/磷酸混酸钼离子价态控制是半导体制造中的关键工艺之一，其质量直接影响刻蚀精度和器件性能。检测服务通过分析混酸溶液中钼离子的价态分布、浓度及杂质含量，确保刻蚀液的稳定性和工艺可重复性。该类检测对提升芯片良率、降低生产成本及避免产线污染具有重要意义。检测信息涵盖成分分析、价态稳定性评估及污染物监控等核心内容。

检测项目

硝酸浓度,磷酸浓度,钼离子总浓度,三价钼含量,四价钼含量,五价钼含量,六价钼含量,氯离子含量,硫酸根含量,金属杂质（铁、铜、镍）,颗粒物浓度,密度,粘度,pH值,氧化还原电位,电导率,溶解氧,有机污染物,水分含量,稳定性测试

检测范围

高浓度硝酸/磷酸刻蚀液,低浓度硝酸/磷酸刻蚀液,再生型刻蚀液,一次性刻蚀液,半导体级刻蚀液,光伏级刻蚀液,实验室用刻蚀液,工业级刻蚀液,无金属离子型刻蚀液,高纯度刻蚀液,含添加剂刻蚀液,低温刻蚀液,高温刻蚀液,快速刻蚀液,慢速刻蚀液,环保型刻蚀液,酸性刻蚀液,碱性刻蚀液,中性刻蚀液,复合型刻蚀液

检测方法

离子色谱法：测定硝酸根、磷酸根及阴离子杂质含量。

紫外可见分光光度法：定量不同价态钼离子浓度。

ICP-MS：检测痕量金属杂质含量。

电位滴定法：确定混酸总酸度及氧化还原能力。

X射线荧光光谱：快速分析主成分比例。

库仑法：精确测量六价钼含量。

激光粒度分析：评估颗粒物分布。

卡尔费休法：测定水分含量。

气相色谱法：分析有机污染物。

原子吸收光谱：针对特定金属元素检测。

粘度计法：测量流体粘度特性。

密度计法：确定溶液密度。

pH计法：监控酸碱度变化。

电导率仪：评估离子强度。

溶解氧测定仪：检测氧含量对价态影响。

检测仪器

离子色谱仪,紫外可见分光光度计,ICP-MS,X射线荧光光谱仪,库仑滴定仪,激光粒度分析仪,卡尔费休水分测定仪,气相色谱仪,原子吸收光谱仪,旋转粘度计,数字密度计,精密pH计,电导率仪,溶解氧分析仪,自动电位滴定仪

检测流程

1、确认客户委托，寄样。

2、到样之后，确定具体的试验项目以及试验方案。

3、实验室报价。

4、签订保密协议，进行试验。

5、完成试验，确定检测报告

6、后期技术服务

友情提示：暂不接受个人委托测试

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