MEMS加速度计旋转交叉耦合测试

原创来源：北检院    发布时间：2025-06-10 15:40:08    点击数：

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信息概要

MEMS加速度计旋转交叉耦合测试是针对微机电系统（MEMS）加速度计在旋转运动条件下交叉轴灵敏度性能的专项检测。该测试通过模拟实际应用中的复杂运动状态，评估加速度计在多轴耦合环境下的输出精度与稳定性，确保其在高动态场景（如航空航天、自动驾驶、工业机器人等）中的可靠性。检测的重要性在于，交叉耦合误差会直接影响传感器的测量准确性，进而导致系统控制偏差或决策错误。通过专业测试，可优化产品设计、提升性能指标，并满足行业标准或客户技术要求。

检测项目

零偏稳定性，灵敏度误差，非线性度，交叉轴耦合系数，温度漂移，频率响应，噪声密度，重复性，迟滞性，振动整流误差，冲击恢复时间，带宽一致性，轴间串扰，动态范围，零点偏移，标度因数稳定性，谐振频率，相位延迟，抗冲击性能，长期稳定性

检测范围

单轴MEMS加速度计，三轴MEMS加速度计，数字输出加速度计，模拟输出加速度计，高温环境加速度计，低功耗加速度计，高g值加速度计，微型封装加速度计，工业级加速度计，汽车级加速度计，航空航天级加速度计，战术级加速度计，消费级加速度计，防水型加速度计，抗辐射加速度计，无线传输加速度计，嵌入式加速度计，压阻式加速度计，电容式加速度计，热电式加速度计

检测方法

旋转台测试法：通过精密旋转台施加可控角速度，测量交叉轴耦合输出。

频响分析法：使用振动台扫描频率范围，分析幅频与相频特性。

温度循环法：在温控箱内进行梯度测试，评估温度对交叉耦合的影响。

多位置静态测试：在不同重力方向下测量各轴输出偏差。

动态冲击测试：利用冲击台模拟瞬态加速度，检测恢复特性。

正弦振动扫描：施加正弦振动信号，量化振动整流误差。

白噪声激励法：通过宽带随机振动分离噪声成分。

轴间隔离测试：单独激励单轴时监测非敏感轴输出。

谐振追踪法：改变驱动频率寻找机械谐振点。

长期漂移测试：连续监测72小时以上零偏变化。

机械对准校准：采用激光干涉仪修正安装偏角。

数字信号分析：对输出数据进行FFT变换和 Allan方差计算。

环境应力筛选：通过快速温变和振动暴露潜在缺陷。

正交性补偿测试：计算旋转过程中的非正交误差矩阵。

同步采集比对：与参考标准传感器进行实时数据对比。

检测仪器

精密离心机，三轴转台，激光干涉仪，振动测试系统，温湿度试验箱，动态信号分析仪，高精度电源，数据采集卡，标准振动台，冲击试验机，频谱分析仪，光学对准仪，恒温槽，噪声测试仪，参考级加速度计

检测流程

1、确认客户委托，寄样。

2、到样之后，确定具体的试验项目以及试验方案。

3、实验室报价。

4、签订保密协议，进行试验。

5、完成试验，确定检测报告

6、后期技术服务

友情提示：暂不接受个人委托测试

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