真空镀膜机测试仪器-薄膜制备设备

真空镀膜机

主要用途

真空镀膜机是用于在真空条件下制备薄膜的设备。广泛应用于光学器件、电子器件、装饰镀膜等领域，能够沉积金属、合金和化合物薄膜。

参数指标

真空度：≤10^-5Pa；镀膜方式：热蒸发/电子束蒸发；样品尺寸：Φ100-500mm；膜厚控制：晶振监控。

主要样品类型

适用于薄膜材料制备，包括：光学薄膜、金属薄膜、导电薄膜、装饰薄膜等。

主要实验项目

金属薄膜沉积、光学薄膜制备、导电薄膜制备、装饰镀膜等。