微机电系统(MEMS)技术-硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

2025-01-01 06:14:46 阅读 检测标准
CMA资质认定

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CNAS认可证书

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ISO认证

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高新技术企业

高新技术企业

GB/T 42896-2023

微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2023-08-06
  • 【CCS分类】L59微型组件
  • 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学

GB/T 42895-2023

微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2023-08-06
  • 【CCS分类】L59微型组件
  • 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学

GB/T 42897-2023

微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2023-08-06
  • 【CCS分类】L59微型组件
  • 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学