热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
GB/T 24577-2009
热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2009-10-30
- 【CCS分类】H80半金属与半导体材料综合
- 【ICS分类】29.045半导体材料
ASTM F1982-99e1
通过热解吸气相色谱法分析硅片表面有机污染物的标准测试方法（2003年提出）
- 【发布单位或类别】 US-ASTM美国材料与试验协会
- 【发布日期】1999-10-07
- 【CCS分类】
- 【ICS分类】29.045半导体材料
