酸浸取-原子吸收光谱法测定-多晶硅表面金属污染物

2025-01-12 21:21:05 阅读 检测标准
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ISO认证

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高新技术企业

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GB/T 24579-2009

酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2009-10-30
  • 【CCS分类】H80半金属与半导体材料综合
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

ASTM F1724-96

用酸萃取原子吸收光谱法测量多晶硅表面金属污染的标准试验方法

  • 【发布单位或类别】 US-ASTM美国材料与试验协会
  • 【发布日期】2001-06-10
  • 【CCS分类】
  • 【ICS分类】29.045半导体材料

ASTM F1724-01

通过酸萃取 - 原子吸收光谱法测量多晶硅表面金属污染的标准测试方法(2003年)

  • 【发布单位或类别】 US-ASTM美国材料与试验协会
  • 【发布日期】2001-06-10
  • 【CCS分类】
  • 【ICS分类】29.045半导体材料