硅基MEMS制造技术-氢氧化钾腐蚀工艺规范
CMA资质认定
CNAS认可证书
ISO认证
高新技术企业
GB/T 28275-2012
硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范
- 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
- 【发布日期】2012-05-11
- 【CCS分类】L55微电路综合
- 【ICS分类】31.200集成电路、微电子学
