硅片翘曲度和弯曲度的测试-自动非接触扫描法

2025-01-25 20:47:08 阅读 检测标准
CMA资质认定

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CNAS认可证书

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ISO认证

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高新技术企业

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GB/T 32280-2022

硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2022-03-09
  • 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

GB/T 32280-2015

硅片翘曲度测试自动非接触扫描法

  • 【发布单位或类别】 CN-GB国家标准
  • 【发布日期】2015-12-10
  • 【CCS分类】H21金属物理性能试验方法
  • 【ICS分类】77.040金属材料试验

ASTM F1390-97

用自动非接触扫描法测量硅片翘曲度的标准试验方法

  • 【发布单位或类别】 US-ASTM美国材料与试验协会
  • 【发布日期】1997-06-10
  • 【CCS分类】
  • 【ICS分类】29.045半导体材料